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商品详情
Aerotech ANT-25L/-50L纳米精度直线电机平台1.可以组合成X,XY,XYZ及其他组合方式的产品2.使用Automation3200可以实现2.5nm的直线分辨率3.交钥匙的驱动和控制系统4.非接触，非接头效应，直接驱动5.超安静直线伺服电机驱动6.高速，实时轴校准
行程25mm-50mm精度±0.3um负载5.0kg
ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）3.2纳米的位置稳定性4.抗爬行十字交叉滚珠轴承5.高动态特性
ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）3.1纳米的位置稳定性4.抗爬行十字交叉滚珠轴承5.高动态特性
ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程2.实现大行程纳米定位3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）4.1纳米的位置稳定性5.抗爬行十字交叉滚珠轴承6.高动态特性
ANT-LX纳米精度交叉滚轴平台1.可以组合成X,XY,XYZ及其他组合方式的产品2.使用Automation3200可以实现2.5nm的直线分辨率3.交钥匙的驱动和控制系统4.非接触，非接头，直接驱动5.超安静直线伺服电机驱动6.高速，实时轴校准行程50mm精度±0.3um负载8.0kg
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