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质量流量控制器,即Mass Flow controller(MFC),MFC系列质量流量控制器,采用补偿型层流压差技术,尽可能使得气体在通过仪器内部通道时保持层流状态。 内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质星流量间的差异,并通过严格的品控和优质的材料使用,提高内部结构的耐腐蚀性,减小非层流泄露引起的差压损失,降低气体流动阻力,保证产品使用的稳定性,提高流量控制精度,
采用补偿型层流压差技术, 达到进口控制器水平
控制精度高, 使用性能稳定, 性价比高
可测量过程气体的质量流量、 体积流量、 压力和温度等