P11 系列压电纳米定位台为小体积 1~3 维压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现 100μm 位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，且体积小、结构紧凑、易于集成。

特点：

? 1~3 维运动 ? 位移可达 300μm ? 体积小巧 ? 毫秒级响应时间 ? 纳米级定位精度 ? 真空版本可选