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商品详情
MSA-600-M显微式激光测振仪Polytec
MSA-600-M显微式激光测振仪Polytec
吴经理：132.4667.5433
MSA-600显微式激光测振仪
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
表面形貌、动态运动分析及可视化是MEMS器件等微型结构的测试和研发的关键，这对于验证有限元算法、确定串扰效应和测量表面形变是必不可少的。
MSA-600是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。
典型应用
· 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
· 微型结构的面内振动
如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
· 微型结构的表面形貌
如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌
产品亮点：
· 集多功能于一体的光学测量工作站
· 真正的实时测量，无需数据后处理
· 的亚pm位移分辨率
· 测量速度快，振型可视化显示
· 操作界面直观友好
· 全自动化测量，易于集成至商用探针台上
【MSA-600系统配置】
基本配置： 面外振动频率为2.5 MHz
选配件
频率扩展： 面外振动频率达25 MHz
差分测量： 面外振动可进行差分测量
面内运动分析： 面内振动测量
形貌测量： 表面形貌测量
【面外振动测量】
测量原理 激光多普勒原理
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
最大频率： 2.5 MHz 25 MHz
档位数量： 13 个速度档位 13 个速度档位
最大振动速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,与档位有关 0.001 m/s … 10 m/s,与档位有关
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,与档位和频率有关
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面内振动测量】
测量原理 频闪法
型号 MSA-600 带面内振动测量模块
带宽 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（与镜头放大倍数有关）
镜头放大倍数2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
时间分辨率 100 ns (频闪曝光时间); 频闪最大间隔时间 ±40 ns
系统输出 位移量、波特图、阶跃响应、衰减曲线、轨迹图等
【光学部分技术参数】
MSA-I-600 光学头
激光波长 532 nm
激光安全等级 class 3R (可见光输出小于5 mW)
照明光源波长 470 nm
照明光源安全等级 class 2 LED 灯(可见光输出小于20 mW)
摄像机 全场逐行扫描
摄像机分辨率 1732 x 1200 像素
摄像机帧速 56 fps
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪、激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
【典型型号示例】
IKA RCT basic：基础数字款，带加热功能。
IKA RCT digital：进阶版，可选安全温度探头（如ETS D5）实现外置温度监控。
IKA C MAG HS 7：高速型号（max2000 rpm），无加热功能。
【一】混合
一、磁力搅拌器:
1、多功能混匀器： IKA MIXSTER SET 1 、IKA MIXSTER SET 2 、IKA MIXSTER SET 3 、IKA MIXSTER SET 4
2、带加热并控制介质温度，还有高级功能：
IKA Plate(RCT digital)
RCT 5 digital
C-MAG HS 7 control
RET control-visc
RET control-visc white
3、带加热并控制介质温度：
RCT basic
RCT basic ready-to-goSolution
RCT basic SynthesisSolution 250
RCT basic SynthesisSolution 500
RCT basic SynthesisSolution 1000
RCT basic ETS-D 5 Solution
RET basic
C-MAG HS 4 digital
C-MAG HS 7 digital
C-MAG HS 10 digital
4、带加热，介质温度控制功能可选
RH basic
RH basic white
RH digital
RH digital white
C-MAG HS 7
C-MAG HS 10
5、工业磁力搅拌器
I-MAG Industry stirrer
Midi MR 1 digital
Maxi MR1 digital
6、带加热功能
C-MAG HS 4、RH basic 2、RT 5、RT 10、RT 15
7、无加热功能
C-MAG MS 4、C-MAG MS 7、C-MAG MS 10、KMO 3 basic
8、无加热，在小容器中搅拌
IKA myPlate、RO5、RO 10、RO 15
Mini MR standard、topolino
topolino mobil
color squid white
big squid white
lab disc white
IKA MIXSTER Add-on unit
MSA-600-M显微式激光测振仪Polytec
吴经理：132.4667.5433
MSA-600显微式激光测振仪
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
表面形貌、动态运动分析及可视化是MEMS器件等微型结构的测试和研发的关键，这对于验证有限元算法、确定串扰效应和测量表面形变是必不可少的。
MSA-600是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。
典型应用
· 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
· 微型结构的面内振动
如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
· 微型结构的表面形貌
如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌
产品亮点：
· 集多功能于一体的光学测量工作站
· 真正的实时测量，无需数据后处理
· 的亚pm位移分辨率
· 测量速度快，振型可视化显示
· 操作界面直观友好
· 全自动化测量，易于集成至商用探针台上
【MSA-600系统配置】
基本配置： 面外振动频率为2.5 MHz
选配件
频率扩展： 面外振动频率达25 MHz
差分测量： 面外振动可进行差分测量
面内运动分析： 面内振动测量
形貌测量： 表面形貌测量
【面外振动测量】
测量原理 激光多普勒原理
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
最大频率： 2.5 MHz 25 MHz
档位数量： 13 个速度档位 13 个速度档位
最大振动速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,与档位有关 0.001 m/s … 10 m/s,与档位有关
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,与档位和频率有关
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面内振动测量】
测量原理 频闪法
型号 MSA-600 带面内振动测量模块
带宽 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（与镜头放大倍数有关）
镜头放大倍数2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
时间分辨率 100 ns (频闪曝光时间); 频闪最大间隔时间 ±40 ns
系统输出 位移量、波特图、阶跃响应、衰减曲线、轨迹图等
【光学部分技术参数】
MSA-I-600 光学头
激光波长 532 nm
激光安全等级 class 3R (可见光输出小于5 mW)
照明光源波长 470 nm
照明光源安全等级 class 2 LED 灯(可见光输出小于20 mW)
摄像机 全场逐行扫描
摄像机分辨率 1732 x 1200 像素
摄像机帧速 56 fps
德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号：
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪、激光测振计
（激光）多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪：PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 ：MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
【典型型号示例】
IKA RCT basic：基础数字款，带加热功能。
IKA RCT digital：进阶版，可选安全温度探头（如ETS D5）实现外置温度监控。
IKA C MAG HS 7：高速型号（max2000 rpm），无加热功能。
【一】混合
一、磁力搅拌器:
1、多功能混匀器： IKA MIXSTER SET 1 、IKA MIXSTER SET 2 、IKA MIXSTER SET 3 、IKA MIXSTER SET 4
2、带加热并控制介质温度，还有高级功能：
IKA Plate(RCT digital)
RCT 5 digital
C-MAG HS 7 control
RET control-visc
RET control-visc white
3、带加热并控制介质温度：
RCT basic
RCT basic ready-to-goSolution
RCT basic SynthesisSolution 250
RCT basic SynthesisSolution 500
RCT basic SynthesisSolution 1000
RCT basic ETS-D 5 Solution
RET basic
C-MAG HS 4 digital
C-MAG HS 7 digital
C-MAG HS 10 digital
4、带加热，介质温度控制功能可选
RH basic
RH basic white
RH digital
RH digital white
C-MAG HS 7
C-MAG HS 10
5、工业磁力搅拌器
I-MAG Industry stirrer
Midi MR 1 digital
Maxi MR1 digital
6、带加热功能
C-MAG HS 4、RH basic 2、RT 5、RT 10、RT 15
7、无加热功能
C-MAG MS 4、C-MAG MS 7、C-MAG MS 10、KMO 3 basic
8、无加热，在小容器中搅拌
IKA myPlate、RO5、RO 10、RO 15
Mini MR standard、topolino
topolino mobil
color squid white
big squid white
lab disc white
IKA MIXSTER Add-on unit
