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Micro.View白光干涉仪Polytec
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Micro.View白光干涉仪Polytec
TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪是一款功能强大的非接触式表面轮廓测量仪器,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心,是最新一代光学3D轮廓仪。TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪拥有了的测量能力,能够满足从超光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量,并且在所有倍率物镜下都能提供亚纳米级测量精度,此外,TMS软件还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价,例如,粗糙度、平面度、台阶高度、微观几何轮廓、波纹度等。
典型应用:
精密加工:粗糙度,微观结构,加工机理分析
光学元件制造:粗糙度,面型轮廓
半导体:晶圆磨抛,IC制造,微型器件
表面工程:摩擦学,涂层,缺陷,变形
3C电子:屏幕粗糙度,壳体表面质量
生物医疗:植入物粗糙度、轮廓
材料科学:材料结构、颜色
特点:
亚纳米级分辨率
最前沿CSI与Corelogram相结合的CST连续扫描技术
行程100mm定位和扫描一体技术
自动寻焦器与焦面智能跟踪功能
手动/电动程控物镜塔台
基于RGB光源的颜色与3D数据融合技术
ECT环境补偿技术
QC质量控制软件模块
模块化设计便于在线方案集成

德国Polytec扫描仪、激光测振仪、光学头、光学振动测量系统主要型号:
激光振动计、光学测振仪
激光多普勒测振仪、激光测振计
(激光)多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪:PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 扫描式激光测振仪:PSV-500-B增强型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪 :MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec已停产的型号(具体停产时间可能因产品线更新而异):
【1. 激光测振仪(Laser Vibrometers)】
OFV-5000系列 (早期型号,已被OFV-5500/OFV-6000替代)
OFV-3000系列 (较老版本)
RSV-150 (远程振动传感系统,部分功能由新系统替代)
【2. 工业传感器(Industrial Sensors)】
ILD 1400/1700 (旧版激光位移传感器)
ILD 2200 (早期型号,后续被ILD 2300等替代)
OADM 12/I (旧版光学距离传感器)
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 (扫描式激光测振仪,已被PSV-500系列取代)
VibroFlex (某些旧型号)