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Pro.Surf大视场3D轮廓仪
TopMap Pro.Surf系列产品,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心,是一款特点的光学3D轮廓仪。TopMap Pro.Surf系列光学3D轮廓仪集非接触、大视场、纳米级精度和70mm超大扫描范围等技术特点于一身,能够满足从光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量,此外还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价,如粗糙度、平面度、台阶高度、平行度、波纹度等,广泛应用于汽车工业、燃油喷射系统、传动、密封、光学加工、精密半导体及3C行业和航天、航空、国防军工和科研院所等领域。
典型应用:
半导体:衬底、外延片平坦度和形貌测量,精密器件及传感器
汽车行业:空气悬挂组件,精密传动组件,燃油喷射系统,高压油泵
密封行业:精密密封表面、泵阀类密封组件
表面工程:摩擦学,涂层厚度,形变分析
3C电子:电子元件平整度,引脚位置,屏幕平面度、厚度均匀性,印刷电路
手表:组件平面度、台阶高度、平行度、轮廓,表镜
产品亮点:
1.45nm分辨率
单次扫描视场高达45x34mm,支持视场拼接拓展至228x221mm
横向分辨率低至14.3微米
非接触、垂直扫描测量模式,扫描范围达70mm
没有外置物镜,无碰撞风险
磁悬浮式扫描导轨,无损耗
高精度:
典型平面度偏差优于75纳米
典型台阶高度偏差优于0.026%(评估≥0.45mm台阶)
高重复性:
平面度重复性偏差优于5纳米
台阶高度重复性优于0.011%(评估≥0.45mm台阶)
支持深孔和盲孔测量
支持隔窗测量
支持在线集成方案