MSA-650 IRIS显微式激光测振仪德国Polytec
负责人：吴经理   132.4667.5433

简介：

MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
使用光学测试硅封装MEMS器件内部振动特性
MEMS器件的动态特性测试和机械响应可视化对于产品开发、故障排除和有限元模型验证来说非常重要。Polytec公司的MSA显微式激光测振仪能快速、准确地测试显微结构的面外振动(OOP)和面内振动(IP)。全新的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪甚至可以透过完整的微型硅密封器件进行测试，如惯性传感器，MEMS麦克风，压力传感器等。     
典型应用   
  ·  惯性传感器，如加速度计和陀螺仪
  ·  微机电传感器和致动器 (MEMS) 
  ·  打印机喷墨头
  ·  压力传感器薄膜
  ·  耳机、微型镜头等
亮点
· 通过硅封装器件的不同层测试MEMS动态特性、
· 实时面外振动测试，最大带宽高达25 MHz
· 亚皮米级面外振动位移分辨率
· 易于集成至生产线上的自动测试系统(兼容商用探针台)
· 频闪法测试面内振动，带宽高达2.5 MHz
· 更好地分离器件的各个层
· MEMS器件的最终有限元模型验证
【更好地分离器件的各个层】
MSA-650 IRIS测试系统包括控制器、带有额外参考通道的信号发生器，超高精度红外光源的光学头和强大的配套软件包。其专用的红外相机和低相干SLD源，是在其透过硅帽获取完整硅封装结构在工作条件下的整个层制结构的动态特性的关键。
【硅封装MEMS器件的模态测试】
由于硅在波长为1050nm以上的近红外光谱中是透明的，基于红外干涉仪的振动测量技术使得获取密封MEMS器件最真实和最有代表性的振动特性成为可能。
Polytec全新的的且已获得技术的MSA系统能确保数据质量，更好的分离MEMS器件的各个层。MSA-650 IRIS显微式激光测振仪内置专用红外相机和低相干SLD源，是目前世界上唯一能透过硅封装结构获取完整动态特性的系统，其实时面外振动带宽高达25MHz，面内振动分辨率低至30nm。

【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪
PSV-500 扫描式激光测振仪
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪 
MSA-600 显微式激光测振仪 
MSA-100-3D显微式测振仪 
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec（德国Polytec GmbH） 已停产的型号，该公司主要生产激光测振仪、光学测量系统、传感器和工业测量设备 。以下是部分已知的已停产或旧型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）

【英国Hansford Sensor振动变送器】
HS-4200250108
HS-420IFL0255008T4
HS-420F1000108-010
HS-100S5005002
HS-420I0200105-005
HS-1042505406V3.3
HS-1045005406V3.3
HANSFORD SENSORS HS-620
HS-4290255408
【韩国MKP流量计】流量传感器、控制器
VIC-D145，VIC-D150、VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245
TSC-145、TSC-150、TSC-230、TSC-220、TSC-245
TSM-D210、TSM-D220D、TSM-D230、TSM-D240D
【韩国HITROL】
HCC-95PH、HCC-609N
HE-3H、HE-5H选配了PVC法兰
HFS-2S、HFS-2T  桨式流量开关
HLC-96RF-R
HLC-100-P
HLC-200A   电极式液位开关
HLC-300、HLC-400
HLC-901-L、HLC-901PN
HLC-901P超老款
HLC-901P老款
HLC-901P新款
HLV-300
HM-12H、HM-12S
HPC-95P
HPC-100CT-2、HPC-100CTW-2、HPC-1000CTH-2
HQ-3
HQ-36-2F、HQ-66-3F、HQ-66-4F
HR-30C-4FHR-30S-2F
HR-30S-2F(L585)(1)
HR-30SH-1F、HR-30TH-1F、HR-30V-3F
HT-100、HT-100CT、HT-100CT-2、HT-100RS-EX
HT-100RS-L、HT-100RT、HT-100RTH
HTM-20N-A
HTM-921、HTM-930N、HTM-930
R-I CONVERTER
新款HT-100RT