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催化燃烧的技术性较强,在选择催化温度前,必须了解有机废气中的有机成分,否则很容易造成不完全氧化,使有机溶剂的微粒吸附在催化剂载体表面,久而久之,使催化剂的活性下降,影响净化率。其实,只要控制得当,这种现象完全可以避免。用于催化燃烧的催化剂,以贵金属Pt、Pd多,还有稀土金属催化剂。紫外线-臭氧法紫外线-臭氧法的优点是,氧化过程中不产生CO和NOx,而且可以同时除去漆雾颗粒和有机溶剂,但其缺点是设备复杂、生产臭氧的成本高、需要处理吸收用水,而且不适合废气排量大的场合。