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此方法具有反应效率高、反应条件无需加热加压、能选择性去除和能耗低的优点,但现在此技术仅限于实验室反应系统,尚未未大批量工业化生产应用。温等离子法低温等离子法是在外加电压作用下,利用击穿气体产生的高能性粒子与污染物分子发生一系列的复杂等离子体物化反应,使污染物分子发生分解,从而将有机污染物降解为无毒无害的物质。低温等离子法与常规技术相比,具有常温常压下反应、工艺简单、操作流程简便、有效处理低浓度有机废气的特点,由于初始投入大,目前该技术尚未有效推广。分离法膜分离法利用气体各组分通过半透性高分子聚合膜的速度不同的原理,将有机废气从膜中穿过,有机组分和空气分子通透能力不同而分离的方法。此方法适合高浓度有机废气的分离和回收处理,具有方法简单、能耗低、无二次污染的优点。物法生物法是利用微生物以有机废气中的有机组分为能源和养分,经历复杂的代谢降解过程,分解为二氧化碳、水及细胞组成物质的方法。过程复杂,大概分为三个过程:利用气液两相间有机物浓度梯度、有机物水溶性和微生物吸附性,污染物由气体传质到液相(固体表面液膜);污染物通过扩散和对流从液膜表面进入到生物膜中;微生物将污染物氧化分解。